日本荏原制作所開始銷售可滿足太陽(yáng)能電池制造工序等的大流量氣體需求的新款廢氣處理裝置。該裝置可將薄膜太陽(yáng)能電池單元及半導(dǎo)體制造工序中排放的有毒氣體無(wú)害化。該公司根據(jù)用途準(zhǔn)備了名為G6型、G6-PV型及G6-E型的3款機(jī)型。3款機(jī)型均為具有燃燒單元及水洗集塵裝置單元的復(fù)合式處理裝置。

　　G6型是以薄膜太陽(yáng)能電池單元、液晶面板單元及半導(dǎo)體制造工序中各種裝置所使用的氣體為對(duì)象的、支持大流量的廢氣處理裝置。每分鐘最多容許流入1200升氣體，與以往產(chǎn)品的平均每分鐘350升相比，擴(kuò)大到了大約3倍。由此可以減少所需廢氣處理裝置的臺(tái)數(shù)，從而降低設(shè)備成本。

　　G6-PV型用于處理薄膜太陽(yáng)能電池單元制造工序的裝置中大量使用的清洗氣(三氟化氮，NF3)，平均每分鐘最多可處理150升廢氣中所含三氟化氮。G6-E型適用于半導(dǎo)體制造工序產(chǎn)生的含有氫及氯的廢氣處理。每分鐘最多容許流入400升氣體。

　　該公司通過(guò)在廢氣處理裝置中增加3款新機(jī)型來(lái)擴(kuò)充產(chǎn)品陣容，滿足更多客戶的需求。由于可再生能源的關(guān)注度日益提高，太陽(yáng)能電池市場(chǎng)的需求進(jìn)一步擴(kuò)大，制造工序中使用的廢氣處理裝置有望出現(xiàn)增長(zhǎng)。荏原制作所將通過(guò)宣傳其可減少環(huán)境負(fù)荷以及提高生產(chǎn)效率的特點(diǎn)來(lái)銷售新的處理裝置。

　　( 編輯/李艷嬌 )

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